Sökning: (LAR1:liu) pers:(Syväjärvi Mikael) >
Properties of 3C-Si...
-
Beshkova, MilenaLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
(författare)
Properties of 3C-SiC Grown by Sublimation Epitaxy on Different Type of Substrates
- Artikel/kapitelEngelska2010
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Transtec Publications; 1999,2010
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-58208
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-58208URI
-
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.183DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
3C-SiC layers have been grown by using sublimation epitaxy at a temperature of 2000 degrees C, on different types of on-axis 6H-SiC(0001) substrates. The influence of the type of substrate on the morphology of the layers investigated by Atomic Force Microscopy (AFM) is discussed. Stacking faults are studied by reciprocal space map (RSM) which shows that double positions domains exists.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
3C-SiC; Sublimation Epitaxy; morphology; AFM; HRXRD
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Lorenzzi, J.UMR-CNRS
(författare)
-
Jegenyes, N.UMR-CNRS
(författare)
-
Birch, JensLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)jenbi91
(författare)
-
Syväjärvi, MikaelLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)miksy08
(författare)
-
Ferro, G.UMR-CNRS
(författare)
-
Yakimova, RositsaLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)rosia15
(författare)
-
Linköpings universitetHalvledarmaterial
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Materials Science Forum, Vols. 645-648: Transtec Publications; 1999, s. 183-186
Internetlänk