WFRF:(Cheng CH)
Sökning: WFRF:(Cheng CH) > (2005-2009) > Suppressing phospho...
- 2 av 2
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Luo, GNational Nano Device Labs (författare)
Suppressing phosphorus diffusion in germanium by carbon incorporation
- Artikel/kapitelEngelska2005
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- Iet,2005
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-59149
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-59149URI
- https://doi.org/10.1049/el:20052999DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- A problem in the Ge MOSFET process is that the phosphor-us for n-type doping in Ge diffuses very fast. It is very difficult to form the shallow source/drain p-n junctions. It is reported, for the first time, that the phosphorus diffusion in Ge during activation (or annealing) can be suppressed effectively owing to carbon incorporation.
Ämnesord och genrebeteckningar
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Cheng, CCNational Nano Device Labs (författare)
- Huang, CYNational Nano Device Labs (författare)
- Hsu, SLNational Nano Device Labs (författare)
- Chien, CHNational Nano Device Labs (författare)
- Ni, Wei-XinNational Nano Device Labs(Swepub:liu)weini41 (författare)
- Chang, CYNational Nano Device Labs (författare)
- National Nano Device Labs (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Electronics Letters: Iet41:24, s. 1354-13550013-51941350-911X
Internetlänk
- 2 av 2
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Luo, G
- Cheng, CC
- Huang, CY
- Hsu, SL
- Chien, CH
- Ni, Wei-Xin
- visa fler...
- Chang, CY
- visa färre...
- Artiklar i publikationen
- Electronics Lett ...
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
