Sökning: (LAR1:liu) pers:(Syväjärvi Mikael) >
Sublimation epitaxy...
-
Beshkova, MilenaLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
(författare)
Sublimation epitaxy of 3C-SiC grown at Si- and C-rich conditions
- Artikel/kapitelEngelska2012
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier,2012
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-79641
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-79641URI
-
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2012.03.020DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Funding Agencies|European Community through the MANSiC|MRTN-CT-2006-035735|
-
3C-SiC layers have been grown by using sublimation epitaxy at a source temperature of 2000 degrees C, under vacuum conditions (andlt;10(-5) mbar) on well oriented (on-axis) 6H-SiC (0001) substrates. Close space sublimation growth geometry has been used in a RF-heated furnace employing high-purity graphite crucible with a possibility to change the growth environment from Si vapor-rich to C vapor-rich. The optical microscopy in transmission mode reveals continuous 3C-domains for 3C-SiC with less than 0.4% 6H-inclusions for the layer grown at Si-rich conditions, and separate 3C-SiC domains for the layer grown at C-rich conditions. The type of 6H-inclusions for layers with continuous domain structure investigated by Atomic Force Microscopy (AFM) is discussed. 2Theta-omega scan shows 0006 and 111 peaks coming from the substrate and the layer, respectively with a higher intensity of the 111 peak for 3C-SiC grown at Si-rich conditions which is related with the continuous character of the 3C-SiC domains.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
3C-SiC
-
Sublimation heteroepitaxy
-
Morphology
-
AFM
-
HRXRD
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Birch, JensLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)jenbi91
(författare)
-
Syväjärvi, MikaelLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)miksy08
(författare)
-
Yakimova, RositsaLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)rosia15
(författare)
-
Linköpings universitetHalvledarmaterial
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Vacuum: Elsevier86:10, s. 1595-15990042-207X1879-2715
Internetlänk
Hitta via bibliotek
-
Vacuum
(Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas