Sökning: (LAR1:liu) pers:(Syväjärvi Mikael) >
Study of deep level...
-
Asghar, M.Islamia University of Bahawalpur, Pakistan
(författare)
Study of deep level defects in doped and semi-insulating n-6H-SiC epilayers grown by sublimation method
- Artikel/kapitelEngelska2012
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier,2012
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-79661
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-79661URI
-
https://doi.org/10.1016/j.physb.2011.08.036DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Deep level transient spectroscopy (DLTS) is employed to study deep level defects in n-6H-SiC (silicon carbide) epilayers grown by the sublimation method. To study the deep level defects in n-6H-SiC, we used as-grown, nitrogen doped and nitrogen-boron co-doped samples represented as ELS-1, ELS-11 and ELS-131 having net (N-D-N-A) similar to 2.0 x 10(12) cm(-3), 2 x 10(16) cm(-3) and 9 x 10(15) cm(3), respectively. The DLTS measurements performed on ELS-1 and ELS-11 samples revealed three electron trap defects (A, B and C) having activation energies E-c - 0.39 eV, E-c - 0.67 eV and E-c - 0.91 eV, respectively. While DLTS spectra due to sample ELS-131 displayed only A level. This observation indicates that levels B and C in ELS-131 are compensated by boron and/or nitrogen-boron complex. A comparison with the published data revealed A, B and C to be E-1/E-2, Z(1)/Z(2) and R levels, respectively.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
n-Type 6H-SiC; Sublimation growth process; DLTS; Deep level defects; Surface defect; Co-doping
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Iqbal, F.Islamia University of Bahawalpur, Pakistan
(författare)
-
Faraz, Sadia MunichaLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan(Swepub:liu)sadfa20
(författare)
-
Jokubavicius, ValdasLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)valjo12
(författare)
-
Wahab, QamarLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)qamwa17
(författare)
-
Syväjärvi, MikaelLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)miksy08
(författare)
-
Islamia University of Bahawalpur, PakistanInstitutionen för fysik, kemi och biologi
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Physica B: Condensed Matter: Elsevier0921-4526
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas