Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-99944" >
Magnetron sputterin...
-
Tengdelius, LinaLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
(författare)
Magnetron sputtering of epitaxial ZrB2 thin films on 4H-SiC(0001) and Si(111)
- Artikel/kapitelEngelska2014
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
2013-12-02
-
John Wiley & Sons,2014
-
electronicrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-99944
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-99944URI
-
https://doi.org/10.1002/pssa.201330308DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Epitaxial ZrB2 thin films were deposited at a temperature of 900 °C on 4H-SiC(0001) and Si(111) substrates by magnetron sputtering from a ZrB2 source at high rate ~80 nm/min. The films were analyzed by thin film X-ray diffraction including pole figure measurements and reciprocal space mapping as well as high resolution electron microscopy.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
Zirconium diboride Epitaxial growth Silicon carbide Thin films Magnetron sputtering
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Birch, JensLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)jenbi91
(författare)
-
Lu, JunLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)junlu07
(författare)
-
Hultman, LarsLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)larhu75
(författare)
-
Forsberg, UrbanLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)urbfo25
(författare)
-
Janzén, ErikLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)erija14
(författare)
-
Högberg, HansLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)hanho47
(författare)
-
Linköpings universitetTunnfilmsfysik
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Physica Status Solidi (a): John Wiley & Sons211:3, s. 636-6401862-63191862-6300
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas