id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-99944"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-99944" > Magnetron sputterin...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Tengdelius, LinaLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan (författare)
Magnetron sputtering of epitaxial ZrB2 thin films on 4H-SiC(0001) and Si(111)
- Artikel/kapitelEngelska2014
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 2013-12-02
- John Wiley & Sons,2014
- electronicrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-99944
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-99944URI
- https://doi.org/10.1002/pssa.201330308DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- Epitaxial ZrB2 thin films were deposited at a temperature of 900 °C on 4H-SiC(0001) and Si(111) substrates by magnetron sputtering from a ZrB2 source at high rate ~80 nm/min. The films were analyzed by thin film X-ray diffraction including pole figure measurements and reciprocal space mapping as well as high resolution electron microscopy.
Ämnesord och genrebeteckningar
- Zirconium diboride Epitaxial growth Silicon carbide Thin films Magnetron sputtering
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Birch, JensLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)jenbi91 (författare)
- Lu, JunLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)junlu07 (författare)
- Hultman, LarsLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)larhu75 (författare)
- Forsberg, UrbanLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)urbfo25 (författare)
- Janzén, ErikLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)erija14 (författare)
- Högberg, HansLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)hanho47 (författare)
- Linköpings universitetTunnfilmsfysik (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Physica Status Solidi (a): John Wiley & Sons211:3, s. 636-6401862-63191862-6300
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- Physica Status Solidi (a) (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Tengdelius, Lina
- Birch, Jens
- Lu, Jun
- Hultman, Lars
- Forsberg, Urban
- Janzén, Erik
- visa fler...
- Högberg, Hans
- visa färre...
- Artiklar i publikationen
- Physica Status S ...
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
