Development of an infrared thermopile detector with a thin self-supporting SU-8 membrane

Mattsson, ClaesMittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013),Electronics design division, STC (författare)

In this paper we present the development and characterization of thermopile detector on a 4 mum thin self-supporting membrane made of the epoxy based photoresist SU-8. The membrane is realized using silicon bulk micromachining techniques. In many existing thermopile detectors, a temperature difference over the thermocouple junctions is achieved by connecting a thin membrane of either Si or Si3N4 to a silicon bulk. These materials suffer from relatively high thermal conductivity, which lowers the sensitivity of the detector. A material such as SU-8 has much lower thermal conductivity and is applied using standard photolithographic processing steps. Simulation results are presented which verifies SU-8 as a better choice than Si and Si3N4 when used as thermal insulating membrane in a thermopile detector. A thermopile consisting of 196 series coupled Ti/Ni thermocouples has been fabricated. Results from measurements are presented, showing a sensitivity of 5.6 V/W and a noise equivalent power (NEP) of 9.9 nW/radicHz.

Thungström, GöranMittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)(Swepub:miun)gorthu (författare)
Bertilsson, KentMittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)(Swepub:miun)kenber (författare)
Nilsson, Hans-ErikMittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)(Swepub:miun)hannil (författare)
Martin, Hans (författare)
MittuniversitetetInstitutionen för informationsteknologi och medier (-2013) (creator_code:org_t)

Ingår i:Proceedings of IEEE SensorsNew York : IEEE conference proceedings, s. 836-8399781424412624

Av författaren/redakt...: Mattsson, Claes; Thungström, Göra ...; Bertilsson, Kent; Nilsson, Hans-Er ...; Martin, Hans

Om ämnet

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.