WFRF:(Krieger Michael)
Sökning: WFRF:(Krieger Michael) > Reduction of densit...
- 38 av 63
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Sledziewski, TomaszLehrstuhl für Angewandte Physik, Germany (författare)
Reduction of density of 4H-SiC/SiO2 interface traps by pre-oxidation phosphorus implantation
- Artikel/kapitelEngelska2014
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 2014
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:ri-35508
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:ri:diva-35508URI
- https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.575DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- The effect of phosphorus (P) on the electrical properties of the 4H-SiC/SiO2 interface was investigated. Phosphorus was introduced by surface-near ion implantation with varying ion energy and dose prior to thermal oxidation. Secondary ion mass spectrometry revealed that only part of the implanted P followed the oxidation front to the interface. A negative flatband shift due to residual P in the oxide was found from C-V measurements. Conductance method measurements revealed a significant reduction of density of interface traps Dit with energy EC-Eit > 0.3 V for P+-implanted samples with [P]interface = 1.5 · 1018 cm-3 in the SiC layer at the interface. .
Ämnesord och genrebeteckningar
- Conductance method
- Interface traps
- Mos interface
- Phosphorus ion implantation
- Electric properties
- Ion implantation
- Oxidation
- Secondary ion mass spectrometry
- Silicon carbide
- C-V measurement
- Implanted samples
- Oxidation front
- Phosphorus ion implantations
- Thermal oxidation
- Phosphorus
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Mikhaylov, Aleksey I.RISE,Acreo,SPbETU 'LETI', Russia (författare)
- Reshanov, Sergey A.Ascatron, Sweden (författare)
- Schöner, AdolfRISE,Acreo,Ascatron, Sweden (författare)
- Weber, Heiko B.Lehrstuhl für Angewandte Physik, Germany (författare)
- Krieger, MichaelLehrstuhl für Angewandte Physik, Germany (författare)
- Lehrstuhl für Angewandte Physik, GermanyAcreo (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Materials Science Forum, s. 575-5789783038350101
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- Materials Science Forum (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 38 av 63
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Sledziewski, Tom ...
- Mikhaylov, Aleks ...
- Reshanov, Sergey ...
- Schöner, Adolf
- Weber, Heiko B.
- Krieger, Michael
- Artiklar i publikationen
- Materials Scienc ...
- Av lärosätet
- RISE
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
