Role of Si implantation in control of underlap length in Schottky-barrier source/drain MOSFETs on ultrathin body SOI

QC 20120328
This works demonstrates a novel approach using Si implantation prior to Pt deposition and PtSi formation to control the underlap length between the PtSi source/drain regions to the gate in Schottky-Barrier (SB-) MOSFETs. Dopant segregation at the PtSi/Si interface is used to enhance device performance. With the lon /Ioff current ratio as an indicator, optimized Si implant doses are found for both n- and p-channel SB-MOSFETs. Through an effective barrier width, the underlap length has direct implication on the leakage current.

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Elektroteknik och elektronik hsv//swe
ENGINEERING AND TECHNOLOGY Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering hsv//eng
MOSFET
Schottky barriers
ion implantation
silicon-on-insulator
PtSi-Si
Schottky barrier source/drain MOSFET
dopant segregation
leakage current
metal-oxide-semiconductor field effect transistor
silicon implantation
silicon on insulator
ultrathin body SOI
underlap length
PtSi
Si implantation
dopant segregation
schottky barrier-MOSFET
underlap length
Physics
Fysik

Zhang, ZuhuaKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)- (författare)
Olsson, Jörgen,1966-Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik(Swepub:uu)jorgolss (författare)
Lu, J.Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik(Swepub:uu)jlu23482 (författare)
Hellström, Per ErikKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1wc1lgb (författare)
Liu, R. (författare)
Östling, MikaelKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1u0kle4 (författare)
Zhang, ShiLinKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1a28qyq (författare)
KTHIntegrerade komponenter och kretsar (creator_code:org_t)

Av författaren/redakt...: Qiu, Zhijun; Zhang, Zuhua; Olsson, Jörgen, ...; Lu, J.; Hellström, Per E ...; Liu, R.; visa fler...; Östling, Mikael; Zhang, ShiLin; visa färre...

Om ämnet

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.