Micro- and nanostructured magnetic field sensor for space applications

Persson, Anders,1982-Uppsala universitet,Mikrosystemteknik,Ångström Space Technology Centre (författare)

microstructured magnetic field sensor nanostructured magnetic field sensor space applications scientific space missions miniaturized magnetometer tunneling magnetoresistance magnetic tunnel junction UV lithography focused ion beam milling focused ion beam deposition ferromagnetic electrode implantation Ga
Magnetometers are popular payloads on scientific space missions. Here, the design and fabrication process of a miniaturized magnetometer based on tunneling magnetoresistance is presented. The process is capable of making magnetic tunnel junctions in a wide size range, by employing both UV lithography and focused ion beam milling and deposition. Ga implantation in the ferromagnetic electrodes of the junction is studied in more detail. It was shown that Ga implantation may harm the magnetometer if the irradiation dose exceeds 1014 Ga+ cm-2.

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Maskinteknik Rymd- och flygteknik hsv//swe
ENGINEERING AND TECHNOLOGY Mechanical Engineering Aerospace Engineering hsv//eng
aerospace instrumentation ferromagnetic materials focused ion beam technology gallium ion implantation magnetic field measurement magnetic sensors magnetometers microelectrodes microsensors milling sputtered coatings tunnelling magnetoresistance ultraviolet lithography
Space engineering
Rymdteknik
Materialvetenskap
Materials Science

Nguyen, Hugo,1955-Uppsala universitet,Mikrosystemteknik,Ångström Space Technology Centre(Swepub:uu)hugonguy (författare)
Riddar, Frida,1979-Uppsala universitet,Tillämpad materialvetenskap(Swepub:uu)friri334 (författare)
Thornell, Greger,1969-Uppsala universitet,Mikrosystemteknik(Swepub:uu)gth12095 (författare)
Uppsala universitetMikrosystemteknik (creator_code:org_t)

Ingår i:15th International Conference on Solid-State SensorsTransducers 2009, s. 1190-1193

Av författaren/redakt...: Persson, Anders, ...; Nguyen, Hugo, 19 ...; Riddar, Frida, 1 ...; Thornell, Greger ...

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Maskinteknik; och Rymd och flygtek ...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.