Piezoresistive and self-actuated 128-cantilever arrays for nanotechnology applications

A major limitation for future nanotechnology, particularly for bottom-up manufacturing is the non-availability of 2-dimensional massively parallel probe arrays. Scanning proximity probes are uniquely powerful tools for analysis, manipulation and bottom-up synthesis: they are capable of addressing and engineering surfaces at the atomic level and are the key to unlocking the full potential of Nanotechnology. Generic massively parallel intelligent cantilever-probe platforms is demonstrated through a number of existing and ground-breaking techniques. A packaged VLSI NEMS-chip (Very Large Scale Integrated Nano Electro Mechanical System) incorporating 128 proximal probes, fully addressable with control and readout interconnects and advanced software will be presented.

Ivanov, Tzv. (författare)
Ivanova, K. (författare)
Volland, B. E. (författare)
Grabiec, P. (författare)
Sarov, Y. (författare)
Persaud, A. (författare)
Gotszalk, T. (författare)
Zawierucha, P. (författare)
Zielony, M. (författare)
Dontzov, D. (författare)
Schmidt, B. (författare)
Zier, M. (författare)
Nikolov, N. (författare)
Kostic, I. (författare)
Engl, W. (författare)
Sulzbach, T. (författare)
Mielczarski, J. (författare)
Kolb, S. (författare)
Latimier, Du P. (författare)
Pedreau, R. (författare)
Djakov, V. (författare)
Huq, S. E. (författare)
Edinger, K. (författare)
Fortagne, O. (författare)
Almansa, A. (författare)
Blom, Hans-OlofUppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik(Swepub:uu)hbl07552 (författare)
Uppsala universitetFasta tillståndets elektronik (creator_code:org_t)

Ingår i:Microelectronic Engineering: Elsevier BV84:5-8, s. 1260-12640167-93171873-5568

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.