onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-179567"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-179567" > Magnetron sputterin...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Andersson, MatildaUppsala universitet,Oorganisk kemi (författare)
Magnetron sputtering of Zr-Si-C thin films
- Artikel/kapitelEngelska2012
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- Elsevier BV,2012
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-179567
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-179567URI
- https://doi.org/10.1016/j.tsf.2012.06.044DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- The phase composition and chemical bonding of Zr-C and Zr-Si-C films deposited by magnetron sputtering has been studied. The results show that the binary Zr-C films at higher carbon contents form nanocrystallites of ZrC in an amorphous carbon matrix. The addition of Si induces a complete amorphization of the films above a critical concentration of about 15 at.%. X-ray diffraction and transmission electron microscopy confirm that the amorphous films contain no nanocrystallites and therefore can be described as truly amorphous carbides. The amorphous films are thermally stable but start to crystallize above 500 degrees C. Analysis of the chemical bonding with X-ray photoelectron spectroscopy suggests that the amorphous films exhibit a mixture of different chemical bonds such as Zr-C, Zr-Si and Si-C and that the electrical and mechanical properties are dependent on the distribution of these bonds. For higher carbon contents, strong Si-C bonds are formed in the amorphous Zr-Si-C films making them harder than the corresponding binary Zr-C films.
Ämnesord och genrebeteckningar
- NATURVETENSKAP Kemi hsv//swe
- NATURAL SCIENCES Chemical Sciences hsv//eng
- Sputtering
- Amorphous materials
- Carbides
- Zr-Si-C
- Thin films
- Physical vapor deposition
- X-ray diffraction
- Transmission electron microscopy
- X-ray photoelectron spectroscopy
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Urbonaite, SigitaUppsala universitet,Strukturkemi (författare)
- Lewin, ErikUppsala universitet,Oorganisk kemi(Swepub:uu)leeri169 (författare)
- Jansson, UlfUppsala universitet,Oorganisk kemi(Swepub:uu)uja03434 (författare)
- Uppsala universitetOorganisk kemi (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Thin Solid Films: Elsevier BV520:20, s. 6375-63810040-60901879-2731
Internetlänk
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Andersson, Matil ...
- Urbonaite, Sigit ...
- Lewin, Erik
- Jansson, Ulf
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Kemi
- Artiklar i publikationen
- Thin Solid Films
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
