SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Hesselbom H.)
 

Sökning: WFRF:(Hesselbom H.) > Fabrication of shor...

Fabrication of short channel MOSFET:s with refractory metal gates using RF sputter etching

Rodriguez, A (författare)
Misra, M (författare)
Hesselbom, H (författare)
visa fler...
Tove, PA (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
visa färre...
 (creator_code:org_t)
1976
1976
Engelska.
Ingår i: Solid-State Electronics. - 0038-1101 .- 1879-2405. ; 19, s. 17-
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Rodriguez, A
Misra, M
Hesselbom, H
Tove, PA
Artiklar i publikationen
Solid-State Elec ...
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy