WFRF:(Olsson Jörgen 1966 )
Sökning: WFRF:(Olsson Jörgen 1966 ) > (1990-1994) > Etching mechanism o...
Etching mechanism of silicon
-
- Edholm, Bengt (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
-
- Olsson, Jörgen, 1966- (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
-
- Söderbärg, Anders (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
- (creator_code:org_t)
- 1993
- 1993
- Engelska.
- Ingår i: MEMS.
- Konferensbidrag (refereegranskat)
Till lärosätets databas
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Edholm, Bengt
- Olsson, Jörgen, ...
- Söderbärg, Ander ...
- Artiklar i publikationen
- MEMS
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
