SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Ericson F)
 

Sökning: WFRF:(Ericson F) > High-sensitivity su...

  • Ericson, FUppsala universitet (författare)

High-sensitivity surface micromachined structures for internal stress and stress gradient evaluation

  • Artikel/kapitelEngelska1997

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • IOP PUBLISHING LTD,1997
  • printrdacarrier

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-28410
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-28410URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska
  • Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:vet swepub-contenttype
  • Ämneskategori:art swepub-publicationtype

Anmärkningar

  • Addresses: Ericson F, UNIV UPPSALA, BOX 534, S-75121 UPPSALA, SWEDEN.
  • The internal stress and stress gradient of thick (10 mu m) and thin (2 mu m) polysilicon films were evaluated with surface micromachined test structures. The structure that measured internal stress consisted of actuator beams rotating an indicator through

Ämnesord och genrebeteckningar

  • POLYSILICON; FILMS

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Greek, SUppsala universitet (författare)
  • Soderkvist, JUppsala universitet (författare)
  • Schweitz, JAUppsala universitet (författare)
  • Uppsala universitet (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING: IOP PUBLISHING LTD7:1, s. 30-360960-1317

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Ericson, F
Greek, S
Soderkvist, J
Schweitz, JA
Artiklar i publikationen
JOURNAL OF MICRO ...
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy