Thin film metal sensors in fusion bonded glass chips for high-pressure microfluidics

Part financed through Swedish Agency for the Innovation System, Vinnova, through the Centre for Natural Disaster Science (CNDS)
High-pressure microfluidics offers fast analyses of thermodynamic parameters for compressed process solvents. However, microfluidic platforms handling highly compressible supercritical CO2 are difficult to control, and on-chip sensing would offer added control of the devices. Therefore, there is a need to integrate sensors into highly pressure tolerant glass chips. In this paper, thin film Pt sensors were embedded in shallow etched trenches in a glass wafer that was bonded with another glass wafer having microfluidic channels. The devices having sensors integrated into the flow channels sustained pressures up to 220 bar, typical for the operation of supercritical CO2. No leakage from the devices could be found. Integrated temperature sensors were capable of measuring local decompression cooling effects and integrated calorimetric sensors measured flow velocities over the range 0.5-13.8 mm/s. By this, a better control of high-pressure microfluidic platforms has been achieved.

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Annan teknik Övrig annan teknik hsv//swe
ENGINEERING AND TECHNOLOGY Other Engineering and Technologies Other Engineering and Technologies not elsewhere specified hsv//eng
supercritical carbon dioxide
high pressure microfluidics
integrated electrodes
temperature sensing
flow sensing
glass
Teknisk fysik med inriktning mot mikrosystemteknik
Engineering Science with specialization in Microsystems Technology

Ek, JohanUppsala universitet,Mikrosystemteknik (författare)
Hedman, LudvigUppsala universitet,Mikrosystemteknik (författare)
Johansson, FredrikUppsala universitet,Mikrosystemteknik (författare)
Sehlstedt, ViktorUppsala universitet,Mikrosystemteknik (författare)
Stocklassa, JesperUppsala universitet,Mikrosystemteknik(Swepub:uu)jesst674 (författare)
Snögren, PärUppsala universitet,Mikrosystemteknik(Swepub:uu)parsn537 (författare)
Pettersson, VictorUppsala universitet,Mikrosystemteknik (författare)
Larsson, JonasUppsala universitet,Mikrosystemteknik (författare)
Vizuete, OlivierUppsala universitet,Mikrosystemteknik (författare)
Hjort, KlasUppsala universitet,Mikrosystemteknik(Swepub:uu)klashjor (författare)
Klintberg, LenaUppsala universitet,Mikrosystemteknik(Swepub:uu)lkl28025 (författare)
Uppsala universitetMikrosystemteknik (creator_code:org_t)

Ingår i:Journal of Micromechanics and Microengineering: IOP Publishing27:10960-13171361-6439

Av författaren/redakt...: Andersson, Marti ...; Ek, Johan; Hedman, Ludvig; Johansson, Fredr ...; Sehlstedt, Vikto ...; Stocklassa, Jesp ...; visa fler...; Snögren, Pär; Pettersson, Vict ...; Larsson, Jonas; Vizuete, Olivier; Hjort, Klas; Klintberg, Lena; visa färre...

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Annan teknik; och Övrig annan tekn ...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.