WFRF:(Standaert T.)
Sökning: WFRF:(Standaert T.) > (1998-1999) > Selective SiOs to S...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Schaepkens, M (författare)
Selective SiOs to Si3N4 etching in inductively coupled fluorocarbon plasmas
- Artikel/kapitelEngelska1998
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 1998
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-40425
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-40425URI
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31607URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Elektroteknik och elektronik Annan elektroteknik och elektronik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering hsv//eng
- Electronics
- Elektronik
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Standaert, T E F M (författare)
- Reuger, N R (författare)
- Oehrlein, G S (författare)
- Hedlund, Christer,1964-Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap(Swepub:miun)chrhed (författare)
- Blom, Hans-OlofUppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap(Swepub:uu)hbl07552 (författare)
- Cook, J M (författare)
- Uppsala universitetInstitutionen för materialvetenskap (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:The 25th national symposium UNY-VAC, Albany NY
Internetlänk
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Schaepkens, M
- Standaert, T E F ...
- Reuger, N R
- Oehrlein, G S
- Hedlund, Christe ...
- Blom, Hans-Olof
- visa fler...
- Cook, J M
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- The 25th nationa ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
- Mittuniversitetet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
