L773:0042 207X OR L773:1879 2715
Sökning: L773:0042 207X OR L773:1879 2715 > Radio frequency pow...
- 37 av 164
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Bardos, LadislavUppsala universitet,Elektricitetslära,The Plasma Group (författare)
Radio frequency powered spiral hollow cathodes
- Artikel/kapitelEngelska2020
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD,2020
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-410886
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-410886URI
- https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2020.109241DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- Potential usage of the radio frequency (RF) spiral hollow electrodes in comparison with the compact hollow cathodes was examined for coating and other surface processing treatments. Most properties were found similar to the compact RF hollow cathodes. The non-conventional shapes of spiral hollow cathodes can be suitable for the inner coating in narrow tubes and pipes. Small diameter spiral cathodes can generate focused high-density ion flux capable of rapid etching of the substrate.
Ämnesord och genrebeteckningar
- NATURVETENSKAP Fysik Den kondenserade materiens fysik hsv//swe
- NATURAL SCIENCES Physical Sciences Condensed Matter Physics hsv//eng
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Elektroteknik och elektronik Annan elektroteknik och elektronik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering hsv//eng
- Hollow cathode
- Spiral hollow cathode
- Radio frequency power
- Coating
- Ion etching
- Atmospheric plasma
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Barankova, HanaUppsala universitet,Elektricitetslära,The Plasma Group(Swepub:uu)hanabara (författare)
- Uppsala universitetElektricitetslära (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Vacuum: PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD1750042-207X1879-2715
Internetlänk
- 37 av 164
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Bardos, Ladislav
- Barankova, Hana
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- och Den kondenserade ...
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- Vacuum
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
