Low temperature plasma assisted InP-to-Si wafer bonding: an alternative to heteroepitaxial growth

Pasquariello, D (författare)

Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,MATERIALS SCIENCE/MST

Hjort, K (författare)

 (creator_code:org_t)

2001

2001

Engelska.

Ingår i: 6th Int. Symp. on Semicond. Wafer Bonding: Sci. Technol. and Appl. at The 2001 Joint Int. Meeting, The 200th Meeting of the Electrochem. Soc., Inc. and the 52nd Ann. Meeting of the Int. Soc. of Electrochem, San Francisco, CA, USA, Sept. 2-7. ; , s. Abs.#1454-

Relaterad länk:

https://urn.kb.se/re...

• Konferensbidrag (refereegranskat)