SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

L773:1520 8559 OR L773:0734 2101
 

Sökning: L773:1520 8559 OR L773:0734 2101 > Effect of substrate...

Effect of substrate material and bias on properties of TiN films deposited in the hybrid plasma reactor

Bárdoš, Ladislav (författare)
Uppsala universitet,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
Baránková, Hana (författare)
Uppsala universitet,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
Gustavsson, L-E. (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik,Elektronik
 (creator_code:org_t)
2006
2006
Engelska.
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 24:4, s. 1655-1659
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Nyckelord

TECHNOLOGY
TEKNIKVETENSKAP

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Bárdoš, Ladislav
Baránková, Hana
Gustavsson, L-E.
Artiklar i publikationen
Journal of Vacuu ...
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy