onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-68577"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-68577" > SCATTERED-LIGHT INV...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- HESZLER, PUppsala universitet (författare)
SCATTERED-LIGHT INVESTIGATION DURING LCVD OF W FROM WF6/H-2/AR GAS-MIXTURE
- BokEngelska1995
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD,1995
- 955-958 s.
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-68577
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-68577URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- Addresses: UNIV UPPSALA, DEPT CHEM, THIN FILM & SURFACE CHEM GRP, S-75121 UPPSALA, SWEDEN.
- The intensity of the scattered ArF excimer laser line was measured during photolytic, laser assisted chemical vapour deposition of tungsten from WF6/H-2/Ar gas mixtures of different compositions. The scattering was due to nm size tungsten clusters. The s
Ämnesord och genrebeteckningar
- CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; LASER; TUNGSTEN; SPECTROSCOPY; WF6; CVD
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- CARLSSON, JOUppsala universitet (författare)
- Uppsala universitet (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:VACUUM: PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD46:8-10
Internetlänk
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- HESZLER, P
- CARLSSON, JO
- Artiklar i publikationen
- VACUUM
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
