WFRF:(Carlsson JO)
Sökning: WFRF:(Carlsson JO) > SCATTERED-LIGHT INV...
- 13 av 39
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
SCATTERED-LIGHT INVESTIGATION DURING LCVD OF W FROM WF6/H-2/AR GAS-MIXTURE
-
- HESZLER, P (författare)
- Uppsala universitet
-
- CARLSSON, JO (författare)
- Uppsala universitet
- (creator_code:org_t)
- PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD, 1995
- Engelska 955-958 s.
- Ingår i: VACUUM. - : PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD. ; 46:8-10
- Annan publikation (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The intensity of the scattered ArF excimer laser line was measured during photolytic, laser assisted chemical vapour deposition of tungsten from WF6/H-2/Ar gas mixtures of different compositions. The scattering was due to nm size tungsten clusters. The s
Nyckelord
- CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; LASER; TUNGSTEN; SPECTROSCOPY; WF6; CVD
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- ovr (ämneskategori)
Till lärosätets databas
- 13 av 39
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- HESZLER, P
- CARLSSON, JO
- Artiklar i publikationen
- VACUUM
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
