SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

L773:0042 207X
 

Sökning: L773:0042 207X > (1995-1999) > CHEMICAL-VAPOR-DEPO...

CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION OF CR, MO AND W THIN-FILMS INDUCED BY SYNCHROTRON-RADIATION

MANCINI, DC (författare)
Uppsala universitet
SKYTT, P (författare)
Uppsala universitet
NORDGREN, J (författare)
Uppsala universitet
visa fler...
TAGTSTROM, P (författare)
Uppsala universitet
visa färre...
 (creator_code:org_t)
PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD, 1995
1995
Engelska.
Ingår i: VACUUM. - : PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD. - 0042-207X. ; 46:8-10, s. 1165-1169
  • Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • We demonstrate the ability to produce 1000 Angstrom thick metal containing films by using chemical vapour deposition (CVD) from Cr(CO)(6), Mo(CO)(6) and W(CO)(6) induced by synchrotron radiation (SR). The deposition is monitored in real time and in situ u

Nyckelord

RAY EMISSION-SPECTROSCOPY; ELECTRON-SPECTROSCOPY; MO(CO)6; SILICON; W(CO)6

Publikations- och innehållstyp

vet (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

  • VACUUM (Sök värdpublikationen i LIBRIS)

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
MANCINI, DC
SKYTT, P
NORDGREN, J
TAGTSTROM, P
Artiklar i publikationen
VACUUM
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy