SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(SKYTT P)
 

Sökning: WFRF:(SKYTT P) > In situ diagnostic ...

  • Nyberg, TomasUppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets fysik,Fasta tillståndets elektronik (författare)

In situ diagnostic studies of reactive co-sputtering from two targets by means of soft x-ray and optical emission spectroscopy

  • Artikel/kapitelEngelska1997

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • 1997
  • printrdacarrier

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-84715
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-84715URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska
  • Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype
  • Ämneskategori:art swepub-publicationtype

Anmärkningar

  • Addresses: Nyberg T, UNIV UPPSALA, ANGSTROM CONSORTIUM, BOX 534, S-75121 UPPSALA, SWEDEN.
  • Fabrication of electronic and optical devices involves synthesis of tailor-made materials with complex composition. Reactive co-sputtering from two targets is a suitable process for fabrication of, e.g., a two-element nitride compound material. The compos

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Skytt, PUppsala universitet,Fysiska institutionen,Elektronik,Fasta tillståndets fysik (författare)
  • Gålnander, BjörnUppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets fysik (författare)
  • Nender, ClaesUppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets fysik,Fasta tillståndets elektronik (författare)
  • Nordgren, JosephUppsala universitet,Fysiska institutionen,Elektronik,Fasta tillståndets fysik(Swepub:uu)josenord (författare)
  • Berg, SörenUppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets fysik,Fasta tillståndets elektronik(Swepub:uu)sbe07552 (författare)
  • Uppsala universitetInstitutionen för materialvetenskap (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS15:1, s. 145-1480734-2101

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy