SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-47609"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-47609" > The Influence of th...

  • Iriarte, Gonzalo FuentesUppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper,Oorganisk kemi,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik (författare)

The Influence of the Deposition Parameters on the Stress of Magnetron Sputter Deposited AlN Thin Films on Si (100) Substrates

  • Artikel/kapitelEngelska2003

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • 2003
  • printrdacarrier

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-47609
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-47609URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype
  • Ämneskategori:art swepub-publicationtype

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Engelmark, FredrikUppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper,Oorganisk kemi,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik (författare)
  • Ottosson, MikaelUppsala universitet,Oorganisk kemi,Elektronik,oorganisk kemi(Swepub:uu)mikaotto (författare)
  • Katardjiev, IliaUppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper,Oorganisk kemi,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik(Swepub:uu)iliakata (författare)
  • Uppsala universitetInstitutionen för teknikvetenskaper (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:Journal of Materials Research18:2, s. 423-

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Iriarte, Gonzalo ...
Engelmark, Fredr ...
Ottosson, Mikael
Katardjiev, Ilia
Om ämnet
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
TEKNIK OCH TEKNO ...
och Elektroteknik oc ...
och Annan elektrotek ...
NATURVETENSKAP
NATURVETENSKAP
och Kemi
och Oorganisk kemi
Artiklar i publikationen
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy