Tyck till om SwePub Sök här!
L773:0040 6090 OR L773:1879 2731
Sökning: L773:0040 6090 OR L773:1879 2731 > (1990-1994) > Johansson M > Reactive magnetron ...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Sjöström, HLinköping University (författare)
Reactive magnetron sputter deposition of CNx films on Si(001) substrates : film growth, microstructure and mechanical properties
- Artikel/kapitelEngelska1994
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- Elsevier BV,1994
- 7 s.
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:lup.lub.lu.se:5dced925-b168-4ad8-8558-a8eb99076c85
- https://lup.lub.lu.se/record/5dced925-b168-4ad8-8558-a8eb99076c85URI
- https://doi.org/10.1016/0040-6090(94)90738-2DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- There is currently considerable interest in producing new materials with extreme combinations of mechanical properties such as high hardnesses and moduli. One example of such a material is crystalline C3N4, which has been predicted to have a bulk modulus higher than that of diamond. In this paper we report on experiments carried out to synthesize CNx thin films. The films were grown in an unbalanced magnetron-sputtering system by reactive sputtering of C in N2 discharges. Si(001) substrates with the native oxide removed by thermal desorption and then kept at temperatures ranging from 150 to 600°C and substrate bias voltages Vs between 7.5 and -200 V were used. The films were analysed using X-ray diffraction, transmission electron microscopy (TEM). Auger electron spectroscopy, Rutherford backscattering and nano-indentation tests. Typically the films were grown at rates of 5 nm s-1 to total thicknesses of 300 nm. Owing to an extensive re-sputtering, only low negative bias voltages (-80
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Ivanov, ILinköping University (författare)
- Johansson, MLinköping University (författare)
- Hultman, LLinköping University (författare)
- Sundgren, JELinköping University (författare)
- Hainsworth, SVUniversity of Newcastle upon Tyne (författare)
- Page, TFUniversity of Newcastle upon Tyne (författare)
- Wallenberg, LRLund University,Lunds universitet,Centrum för analys och syntes,Kemiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Centre for Analysis and Synthesis,Department of Chemistry,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ook2-rwa (författare)
- Linköping UniversityUniversity of Newcastle upon Tyne (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Thin Solid Films: Elsevier BV246:1-2, s. 103-1090040-6090
Internetlänk
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Sjöström, H
- Ivanov, I
- Johansson, M
- Hultman, L
- Sundgren, JE
- Hainsworth, SV
- visa fler...
- Page, TF
- Wallenberg, LR
- visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Kemi
- och Oorganisk kemi
- Artiklar i publikationen
- Thin Solid Films
- Av lärosätet
- Lunds universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
