SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Whitlow H. J.)
 

Sökning: WFRF:(Whitlow H. J.) > Threshold stoichiom...

Threshold stoichiometry for beam induced nitrogen depletion of SiN

Timmers, H (författare)
Weijers, TDM (författare)
Elliman, RG (författare)
visa fler...
Uribasterra, J (författare)
Whitlow, Harry J (författare)
Lund University,Lunds universitet,Kärnfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Nuclear physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Sarwe, Eva-Lena (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2002
2002
Engelska.
Ingår i: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. - 0168-583X. ; 190, s. 428-432
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • Measurements of the stoichiometry of silicon nitride films as a function of the number of incident ions using heavy ion elastic recoil detection (ERD) show that beam-induced nitrogen depletion depends on the projectile species. the beam energy, and the initial stoichiometry. A threshold stoichiometry exists in the range 1.3 > N/Si greater than or equal to 1, below which the films are stable against nitrogen depletion. Above this threshold, depletion is essentially linear with incident fluence. The depletion rate correlates non-linearly with the electronic energy loss of the projectile ion in the film. Sufficiently long exposure of nitrogen-rich films renders the mechanism, which prevents depletion of nitrogen-poor films, ineffective. Compromising depth-resolution. nitrogen depletion from SiN films during ERD analysis can be reduced significantly by using projectile beams with low atomic numbers. (C) 2002 Published by Elsevier Science B.V.

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Subatomär fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Subatomic Physics (hsv//eng)
NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)

Nyckelord

nitrogen depletion
ion beam analysis
elastic recoil detection

Publikations- och innehållstyp

art (ämneskategori)
ref (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Timmers, H
Weijers, TDM
Elliman, RG
Uribasterra, J
Whitlow, Harry J
Sarwe, Eva-Lena
Om ämnet
NATURVETENSKAP
NATURVETENSKAP
och Fysik
och Subatomär fysik
NATURVETENSKAP
NATURVETENSKAP
och Fysik
och Den kondenserade ...
Artiklar i publikationen
Nuclear Instrume ...
Av lärosätet
Lunds universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy