Fabrication of 10 nm enclosed nanofluidic channels

We made uniform arrays of nanometer scale structures using nanoimprint lithography over large areas (100 mm wafers). The nanofluidic channels were further narrowed and sealed by techniques that are based on nonuniform deposition. The resulting sealed channels have a cross section as small as 10 nm by 50 nm, of great importance for confining biological molecules into ultrasmall spaces. These techniques can be valuable fabrication tools for Nanoelectromechanical Systems and Micro/Nano Total Analysis Systems.

Yu, ZhaoningPrinceton University (författare)
Wang, JianNanonex Corp.(Swepub:lu)ort-jwa (författare)
Tegenfeldt, Jonas O.Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH,Princeton University(Swepub:lu)ftf-jte (författare)
Austin, Robert H.Princeton University (författare)
Chen, ErliNanoOpto Inc. (författare)
Wu, WeiPrinceton University (författare)
Chou, Stephen Y.Princeton University (författare)
Princeton UniversityNanonex Corp. (creator_code:org_t)

Ingår i:Applied Physics Letters: AIP Publishing81:1, s. 174-1760003-69511077-3118

Av författaren/redakt...: Cao, Han; Yu, Zhaoning; Wang, Jian; Tegenfeldt, Jona ...; Austin, Robert H ...; Chen, Erli; visa fler...; Wu, Wei; Chou, Stephen Y.; visa färre...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.