Tyck till om SwePub Sök här!
WFRF:(Maximov Ivan)
Sökning: WFRF:(Maximov Ivan) > Nanoimprint lithogr...
Nanoimprint lithography for fabrication of three-terminal ballistic junctions in InP/GaInAs
-
- Maximov, Ivan (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Carlberg, Patrick (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Wallin, Daniel (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- 2002-09-20
- 2002
- Engelska.
- Ingår i: Nanotechnology. - : IOP Publishing. - 0957-4484. ; 13:5, s. 666-668
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We present processing technology and characterization results for InP/GaInAs two-dimensional electron gas (2DEG) three-terminal ballistic junction (TBJ) devices manufactured using nanoimprint lithography (NIL). To transfer sub-100 nm features into a high-mobility InP-based 2DEG material, we used SiO2/Si stamps made using electron beam lithography and reactive ion etching. After NIL, the resist residues are removed in oxygen plasma; this is followed by wet etching of InP/GaInAs to define the TBJ structures. Fabricated TBJ devices are characterized using scanning electron microscopy and electron transport measurements. Highly non-linear electrical characteristics as predicted by the theory (Xu H Q 2001 APPI. Phys. Lett. 78 2064) are demonstrated.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology -- Nano-technology (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Maximov, Ivan
- Carlberg, Patric ...
- Wallin, Daniel
- Shorubalko, Ivan
- Seifert, Werner
- Xu, Hongqi
- visa fler...
- Montelius, Lars
- Samuelson, Lars
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Nanoteknik
- och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
- Nanotechnology
- Av lärosätet
- Lunds universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
