Sökning: WFRF:(Shiri Daryoush 1975) >
Qubit-Compatible Su...
Qubit-Compatible Substrates With Superconducting Through-Silicon Vias
-
- Grigoras, K. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Yurttagül, Nikolai (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Kaikkonen, J. P. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
visa fler...
-
- Mannila, E. T. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Eskelinen, P. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
Lozano, D. P. (författare)
-
Li, H. X. (författare)
-
- Rommel, Marcus, 1987 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Shiri, Daryoush, 1975 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Tiencken, N. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Simbierowicz, S. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Ronzani, A. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Hatinen, J. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Datta, D. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Vesterinen, V. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Gronberg, L. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Biznárová, Janka, 1995 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Fadavi Roudsari, Anita, 1978 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Kosen, Sandoko, 1991 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Osman, Amr, 1993 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Prunnila, Mika (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Hassel, J. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
- Bylander, Jonas, 1978 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Govenius, J. (författare)
- Teknologian Tutkimuskeskus (VTT),Technical Research Centre of Finland (VTT)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2022
- 2022
- Engelska.
-
Ingår i: IEEE Transactions on Quantum Engineering. - 2689-1808. ; 3
- Relaterad länk:
-
https://research.cha... (primary) (free)
-
visa fler...
-
https://research.cha...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We fabricate and characterize superconducting through-silicon vias and electrodes suitable for superconducting quantum processors. We measure internal quality factors of a million for test resonators excited at single-photon levels, on chips with superconducting vias used to stitch ground planes on the front and back sides of the chips. This resonator performance is on par with the state of the art for silicon-based planar solutions, despite the presence of vias. Via stitching of ground planes is an important enabling technology for increasing the physical size of quantum processor chips, and is a first step toward more complex quantum devices with three-dimensional integration.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Annan fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Other Physics Topics (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
Nyckelord
- Qubit
- Q-factor
- superconducting through-silicon via
- titanium nitride
- Electrodes
- tantalum
- quantum coherence
- Superconducting microwave devices
- Through-silicon vias
- High-Q resonator
- TSV
- Resonators
- Semiconductor device measurement
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Grigoras, K.
-
Yurttagül, Nikol ...
-
Kaikkonen, J. P.
-
Mannila, E. T.
-
Eskelinen, P.
-
Lozano, D. P.
-
visa fler...
-
Li, H. X.
-
Rommel, Marcus, ...
-
Shiri, Daryoush, ...
-
Tiencken, N.
-
Simbierowicz, S.
-
Ronzani, A.
-
Hatinen, J.
-
Datta, D.
-
Vesterinen, V.
-
Gronberg, L.
-
Biznárová, Janka ...
-
Fadavi Roudsari, ...
-
Kosen, Sandoko, ...
-
Osman, Amr, 1993
-
Prunnila, Mika
-
Hassel, J.
-
Bylander, Jonas, ...
-
Govenius, J.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Annan fysik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
-
och Annan elektrotek ...
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Den kondenserade ...
- Artiklar i publikationen
-
IEEE Transaction ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola