SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

L773:1930 8876 OR L773:9781479943784
 

Sökning: L773:1930 8876 OR L773:9781479943784 > (2005-2009) > Electron traps at H...

  • Raeissi, Bahman,1979Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology (författare)

Electron traps at HfO2/SiOx interfaces

  • Artikel/kapitelEngelska2008

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • 2008

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:3fc70176-fe1a-4c13-9bea-e15ccbc3d85b
  • ISBN:9781424423637
  • https://research.chalmers.se/publication/74312URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska
  • Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype

Anmärkningar

  • Electron traps in HfO2 have been investigated by measuring thermally stimulated current (TSC). Two different interface regions have been identified where captured electrons interact with energy band states. The two domains are separated by and close to the “interlayer” of SiOx commonly present in high-k/silicon stacks. On the inner side, between SiOx and silicon, we find an irregular silicon crystal which we interpret as a source for interface states. At the SiOx/HfO2 interface, we find a high concentration of unstable traps with a strong influence on the electric field distribution in the gate stack.

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Chen, Yang YinChalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology (författare)
  • Piscator, Johan,1977Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)e8johanp (författare)
  • Lai, Zonghe,1948Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)zonghe (författare)
  • Engström, Olof,1943Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)oleng (författare)
  • Chalmers tekniska högskola (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:Proceeding of 38th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC 2008), Edinburgh, Scotland, UK, s. 130-1331930-88769781424423637

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy