Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:4a867fca-22f5-41ee-b575-101f9554fe99" >
Micromachining of S...
Micromachining of Silicon for Thermal and Position-Sensitive Nuclear-Detector Applications
-
Backlund, Y. (författare)
-
Coron, N. J. (författare)
-
- Delsing, Per, 1959 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Jonson, Björn, 1941 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Lindroos, Mats, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Nyman, Göran Hugo, 1943 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
Ravn, H. (författare)
-
Riisager, K. (författare)
-
Stroke, H. H. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 1989
- 1989
- Engelska.
-
Ingår i: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. - : Elsevier BV. - 0168-9002. ; 279:3, s. 555-559
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://research.cha...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- As part of a programme aiming at the development of small nuclear radiation detectors, for example thermal detectors and position sensitive mosaic structures of surface barrier type, a technique for micromachining the detector bodies in silicon has been developed. The technique is based on an anisotropic etching property of a solution, mainly consisting of KOH. The etch rate is strongly orientation dependent with a speed in the 〈100〉 direction about 400 times faster than in the 〈111〉 direction. The major steps in the etching procedure are described and some examples of deep etching in Si are shown.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Subatomär fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Subatomic Physics (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Backlund, Y.
-
Coron, N. J.
-
Delsing, Per, 19 ...
-
Jonson, Björn, 1 ...
-
Lindroos, Mats, ...
-
Nyman, Göran Hug ...
-
visa fler...
-
Ravn, H.
-
Riisager, K.
-
Stroke, H. H.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Subatomär fysik
- Artiklar i publikationen
-
Nuclear Instrume ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola