SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Ebefors Thorbjörn)
 

Sökning: WFRF:(Ebefors Thorbjörn) > (2000-2004) > A robust micro conv...

A robust micro conveyer realized by arrayed polyimide joint actuators

Ebefors, Thorbjörn (författare)
KTH,Signaler, sensorer och system
Mattsson, Johan U. (författare)
KTH,Signaler, sensorer och system
Kälvesten, Edvard (författare)
KTH,Signaler, sensorer och system
visa fler...
Stemme, Göran (författare)
KTH,Signaler, sensorer och system
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2000-06-13
2000
Engelska.
Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering. - : IOP Publishing. - 0960-1317 .- 1361-6439. ; 10:3, s. 337-349
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • A new micro-robotic conveyance system based on arrays of movable robust silicon legs has been developed and investigated. Motion is achieved by thermal expansion in polyimide joint actuators using electrical heating. Successful experiments on moving and rotating flat objects in the millimeter range have been performed with high load capacity. The conveyer consists of a 15 x 5 mm(2) chip having 12 silicon legs, each with a length of 500 mu m. The maximum load conveyed on the structure was 3500 mg. Both transverse and rotational movements have been demonstrated experimentally. Conveyance velocities up to 12 mm s(-1) have been measured. Accelerated lifetime measurements demonstrate the long-term stability of the actuators. The functionality of the: polyimide joint actuators is unaffected after more than 2 x 10(8) load cycles.

Nyckelord

micromachined silicon plates
polyimide
microrobots
objects
system
mems

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy