Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-17562" >
Electronic structur...
Electronic structure of Cu3N films studied by soft x-ray spectroscopy
-
- Modin, A. (författare)
- Uppsala universitet,Molekyl- och kondenserade materiens fysik
-
- Kvashnina, K. O. (författare)
- Uppsala universitet,Fysik II
-
- Butorin, Sergei. M. (författare)
- Uppsala universitet,Molekyl- och kondenserade materiens fysik
-
visa fler...
-
- Werme, Lars (författare)
- Uppsala universitet,Fysik II
-
- Nordgren, Joseph (författare)
- Uppsala universitet,Fysik II
-
- Arapan, S. (författare)
- Uppsala universitet,Fysiska institutionen
-
- Ahuja, Rajeev (författare)
- Uppsala universitet,KTH,Materialvetenskap,Fysiska institutionen
-
Fallberg, A. (författare)
-
- Ottosson, Mikael (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialkemi
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2008-05-06
- 2008
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Physics. - : IOP Publishing. - 0953-8984 .- 1361-648X. ; 20:23
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Soft x- ray emission spectroscopy was used to characterize the electronic structure of seven copper nitride films, one synthesized with atomic layer deposition ( ALD) and six grown with chemical vapor deposition ( CVD) at different preparation temperatures. Interpretation of the x- ray emission spectra was supported by calculations of the electronic structure for bulk pure Cu3N and Cu3N with: an excess of Cu atoms, oxygen or carbon impurities, and N vacancies. The calculations are shown to describe the experimental spectra quite well. Analysis of the x- ray spectra suggests that films grown in copper rich environments and above a cut- off temperature of approximately 360 degrees C have a growing fraction of copper enriched areas, while films prepared below this temperature do not have these areas with excess copper.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- nitride thin-films
- total-energy calculations
- augmented-wave method
- copper nitride
- deposition
- growth
- Physics
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas