Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-325257" >
Vacuum-sealed silic...
Vacuum-sealed silicon photonic MEMS tunable ring resonator with an independent control over coupling and phase
-
- Edinger, Pierre (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Jo, Gaehun, 1992- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Van Nguyen, Chris Phong (författare)
- KTH
-
visa fler...
-
- Takabayashi, Alain Yuji (författare)
- Ecole Polytech Fed Lausanne, CM 1 364 Ctr Midi,Stn 10, CH-1015 Lausanne, Switzerland.
-
- Errando-Herranz, Carlos, 1989- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Antony, Cleitus (författare)
- Tyndall Natl Inst Technol, Lee Maltings Complex Dyke Parade, Cork T12 R5CP, Ireland.
-
- Talli, Giuseppe (författare)
- Tyndall Natl Inst Technol, Lee Maltings Complex Dyke Parade, Cork T12 R5CP, Ireland.
-
- Verheyen, Peter (författare)
- Interuniv Microelect Ctr, IMEC, 1 Postbus,Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium.
-
- Khan, Umar (författare)
- Interuniv Microelect Ctr, IMEC, 1 Postbus,Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium.;Univ Ghent, Dept Informat Technol, IMEC, Technologiepark Zwijnaarde 126, B-9052 Ghent, Belgium.
-
- Bleiker, Simon J. (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Bogaerts, Wim (författare)
- Interuniv Microelect Ctr, IMEC, 1 Postbus,Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium.;Univ Ghent, Dept Informat Technol, IMEC, Technologiepark Zwijnaarde 126, B-9052 Ghent, Belgium.
-
- Quack, Niels (författare)
- Ecole Polytech Fed Lausanne, CM 1 364 Ctr Midi,Stn 10, CH-1015 Lausanne, Switzerland.;Univ Sydney, J07-90 Carillon Ave, Newtown, NSW 2042, Australia.
-
- Niklaus, Frank, 1971- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Gylfason, Kristinn, 1978- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Optica Publishing Group, 2023
- 2023
- Engelska.
-
Ingår i: Optics Express. - : Optica Publishing Group. - 1094-4087. ; 31:4, s. 6540-6551
- Relaterad länk:
-
https://doi.org/10.1...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Ring resonators are a vital element for filters, optical delay lines, or sensors in silicon photonics. However, reconfigurable ring resonators with low-power consumption are not available in foundries today. We demonstrate an add-drop ring resonator with the independent tuning of round-trip phase and coupling using low-power microelectromechanical (MEMS) actuation. At a wavelength of 1540 nm and for a maximum voltage of 40 V, the phase shifters provide a resonance wavelength tuning of 0.15 nm, while the tunable couplers can tune the optical resonance extinction ratio at the through port from 0 to 30 dB. The optical resonance displays a passive quality factor of 29 000, which can be increased to almost 50 000 with actuation. The MEMS rings are individually vacuum-sealed on wafer scale, enabling reliable and long-term protection from the environment. We cycled the mechanical actuators for more than 4 x 109 cycles at 100 kHz, and did not observe degradation in their response curves. On mechanical resonance, we demonstrate a modulation increase of up to 15 dB, with a voltage bias of 4 V and a peak drive amplitude as low as 20 mV.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Edinger, Pierre
-
Jo, Gaehun, 1992 ...
-
Van Nguyen, Chri ...
-
Takabayashi, Ala ...
-
Errando-Herranz, ...
-
Antony, Cleitus
-
visa fler...
-
Talli, Giuseppe
-
Verheyen, Peter
-
Khan, Umar
-
Bleiker, Simon J ...
-
Bogaerts, Wim
-
Quack, Niels
-
Niklaus, Frank, ...
-
Gylfason, Kristi ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
-
och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
-
Optics Express
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan