Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-339307" >
Design and fabricat...
Design and fabrication of a 4-terminal in-plane nanoelectromechanical relay
-
- Li, Yingying, 1994- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik,MST
-
- Bleiker, Simon J. (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Edinger, Pierre (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa fler...
-
- Worsey, Elliot (författare)
- Univeristy of Bristol, U.K.
-
- Kulsreshath, Mukesh Kumar (författare)
- Univeristy of Bristol, U.K.
-
- Tang, Qi (författare)
- Univeristy of Bristol, U.K.
-
- Takabayashi, Alain (författare)
- École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Switzerland
-
- Quack, Niels (författare)
- École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Switzerland
-
- Verheyen, Peter (författare)
- IMEC, Belgium
-
- Bogaerts, Wim (författare)
- IMEC, Belgium ; University of Ghent, Belgium
-
- Gylfason, Kristinn, 1978- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Pamunuwa, Dinesh (författare)
- Univeristy of Bristol, U.K.
-
- Niklaus, Frank, 1971- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. 2023
- 2023
- Engelska.
-
Ingår i: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2023. - : Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.. ; , s. 824-826
- Relaterad länk:
-
https://transducers2...
-
visa fler...
-
https://kth.diva-por... (primary) (Raw object)
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We present 4-terminal (4-T) silicon (Si) nanoelectronmechanical (NEM) relays fabricated on silicon-oninsulator (SOI) wafers. We demonstrate true 4-T switching behavior with isolated control and signal paths. A pull-in voltage as low as 11.6 V is achieved with the miniaturized design. 4-T NEM relays are a very promising candidate for building ultra-low-power logic circuits since they enable novel circuit architectures to realize logic functions with far fewer devices than CMOS implementations, while also allowing the dynamic power consumption to be reduced by body-biasing.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- 4-T NEM relays
- in-plane Si relays
- decoupled signals
- low pull-in voltage
- ultra-low power consumption
- Electrical Engineering
- Elektro- och systemteknik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Li, Yingying, 19 ...
-
Bleiker, Simon J ...
-
Edinger, Pierre
-
Worsey, Elliot
-
Kulsreshath, Muk ...
-
Tang, Qi
-
visa fler...
-
Takabayashi, Ala ...
-
Quack, Niels
-
Verheyen, Peter
-
Bogaerts, Wim
-
Gylfason, Kristi ...
-
Pamunuwa, Dinesh
-
Niklaus, Frank, ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
- 2023 22nd Intern ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan