id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-13976"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-13976" > Spatial electron de...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
| Fältnamn | Indikatorer | Metadata |
|---|---|---|
| 000 | 02366naa a2200385 4500 | |
| 001 | oai:DiVA.org:liu-13976 | |
| 003 | SwePub | |
| 008 | 060912s2005 | |||||||||||000 ||eng| | |
| 024 | 7 | a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-139762 URI |
| 024 | 7 | a https://doi.org/10.1109/TPS.2005.8450222 DOI |
| 040 | a (SwePub)liu | |
| 041 | a engb eng | |
| 042 | 9 SwePub | |
| 072 | 7 | a ref2 swepub-contenttype |
| 072 | 7 | a art2 swepub-publicationtype |
| 100 | 1 | a Böhlmark, Johanu Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)johbo37 |
| 245 | 1 0 | a Spatial electron density distribution in a high-power pulsed magnetron discharge |
| 264 | 1 | c 2005 |
| 338 | a print2 rdacarrier | |
| 520 | a The spatial electron density distribution was measured as function of time in a high-power pulsed magnetron discharge. A Langmuir probe was positioned in various positions below the target and the electron density was mapped out. We recorded peak electron densities exceeding 1019 m-3 in a close vicinity of the target. The dynamics of the discharge showed a dense plasma expanding from the "race-track" axially into the vacuum chamber. We also record electrons trapped in a magnetic bottle where the magnetron magnetic field is zero, formed due to the unbalanced magnetron. | |
| 653 | a magnetron sputtering | |
| 653 | a plasma density | |
| 653 | a pulsed plasmas | |
| 653 | a thin film deposition | |
| 653 | a NATURAL SCIENCES | |
| 653 | a NATURVETENSKAP | |
| 700 | 1 | a Gudmundsson, J. T.4 aut |
| 700 | 1 | a Alami, Jonesu Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)jonal90 |
| 700 | 1 | a Lattemann, Martinau Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)marla08 |
| 700 | 1 | a Helmersson, Ulfu Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)ulfhe30 |
| 710 | 2 | a Linköpings universitetb Plasma och ytbeläggningsfysik4 org |
| 773 | 0 | t IEEE Transactions on Plasma Scienceg 33:2, s. 346-347q 33:2<346-347x 0093-3813x 1939-9375 |
| 856 | 4 | u http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-7359y Link to Ph.D. thesis |
| 856 | 4 8 | u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-13976 |
| 856 | 4 8 | u https://doi.org/10.1109/TPS.2005.845022 |
Hitta via bibliotek
- IEEE Transactions on Plasma Science (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Böhlmark, Johan
- Gudmundsson, J. ...
- Alami, Jones
- Lattemann, Marti ...
- Helmersson, Ulf
- Artiklar i publikationen
- IEEE Transaction ...
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
