Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-40414" >
Investigation of th...
Investigation of the Effect of Impurities in Slurries Used for Chemical Mechanical Polishing
-
- Forsberg, Markus (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
- Olsson, Jörgen (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
- Edholm, Bengt (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
visa fler...
-
Ericsson, P (författare)
-
- Söderbärg, Anders (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 1998
- 1998
- Engelska.
-
Ingår i: The 18th Nordic Semiconductor Meeting, Linköping, Sweden, June 7-10, p. E-70.
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Electronics
- Elektronik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)