Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:006ae69d-d555-4a7c-95a8-53c76a098dc7" >
Navigation aids in ...
Navigation aids in the search for future high-k dielectrics: physical and electrical trends
-
- Engström, Olof, 1943 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Raeissi, Bahman, 1979 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
Hall, Steve (författare)
-
visa fler...
-
Buiu, Octavian (författare)
-
Lemme, Max (författare)
-
Gottlob, Heiner (författare)
-
Hurley, Paul (författare)
-
Cherkaoui, Karim (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2006
- 2006
- Engelska.
-
Ingår i: Proceeding of 7th European Workshop on Ultimate Integration of Silicon (ULIS 2006), p.115-118, April 20-21, Grenoble, France (2006).. ; , s. 115-118
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- From experimental literature data on metal oxides combinedwith theoretical estimates, we present empirical relations for k-values and energy band offset values, that can be used in the search for gate dielectric materials fulfilling the needs of future CMOS generations. Only a few materials investigated so far have properties meeting the demands for k and energy band offset values in the development of CMOS down to 22 nm.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Dielectric Constant
- High-k Dielectric
- Physical Properties of Dielectrics
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Engström, Olof, ...
-
Raeissi, Bahman, ...
-
Hall, Steve
-
Buiu, Octavian
-
Lemme, Max
-
Gottlob, Heiner
-
visa fler...
-
Hurley, Paul
-
Cherkaoui, Karim
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
-
och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- Proceeding of 7t ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola