Tyck till om SwePub Sök här!
onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-19658"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-19658" > Fabrication of beam...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Fabrication of beam resonators from hot-wall chemical vapour deposited SiC
-
- Mastropaolo, Enrico (författare)
- University of Edinburgh
-
- Cheung, Rebecca (författare)
- University of Edinburgh
-
- Henry, Anne (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2009
- 2009
- Engelska.
- Ingår i: Microelectronic Engineering, Vol. 86. - : Elsevier BV. ; , s. 1194-1196
- Konferensbidrag (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Single crystal and polycrystalline 3C-SiC have been grown in a hot-wall chemical vapour deposition reactor on 100 mm diameter p-type boron-doped (100) Si wafer. The crystal structure of the films has been determined by X-ray diffraction. Moreover, cantilever resonators have been fabricated from the two grown 3C-SiC films using a one-step dry etch and release process. The designed beam length has been varied between 50 and 200 mu m. Resonant frequencies in the range between 110 kHz-1.5 MHz and 50-750 kHz have been obtained for single crystal and polycrystalline Sic devices, respectively. Furthermore, the experimental resonance frequencies have been used to calculate Youngs Modulus E for both types of SiC. The single crystal Sic has shown a relatively high Youngs Modulus (446 GPa) and should be an optimal material for RF-MEMS applications. (c) 2008 Elsevier B.V. All rights reserved.
Nyckelord
- 3C-SiC
- Hot-wall CVD
- MEMS
- Cantilever resonators
- Youngs Modulus
- NATURAL SCIENCES
- NATURVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Microelectronic Engineering, Vol. 86 (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Mastropaolo, Enr ...
- Cheung, Rebecca
- Henry, Anne
- Janzén, Erik
- Artiklar i publikationen
- Microelectronic ...
- Microelectronic ...
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
