SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:a945f93d-4476-46d3-bafe-845e6434bb7e"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:a945f93d-4476-46d3-bafe-845e6434bb7e" > Plasma assisted low...

  • Amirfeiz, Petra,1973Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology (författare)

Plasma assisted low temperature wafer bonding: void formation in the oxide free interface

  • Artikel/kapitelEngelska2003

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • 2003

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:a945f93d-4476-46d3-bafe-845e6434bb7e
  • https://research.chalmers.se/publication/16201URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Sanz-Velasco, Anke,1971Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)ankesanz (författare)
  • Bengtsson, Stefan,1961Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)stefanb (författare)
  • Chalmers tekniska högskola (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:Proceedings of the 7th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications, Paris, France (2003)

Internetlänk

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Amirfeiz, Petra, ...
Sanz-Velasco, An ...
Bengtsson, Stefa ...
Om ämnet
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
TEKNIK OCH TEKNO ...
och Elektroteknik oc ...
Artiklar i publikationen
Av lärosätet
Chalmers tekniska högskola

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy