Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:a945f93d-4476-46d3-bafe-845e6434bb7e" >
Plasma assisted low...
-
Amirfeiz, Petra,1973Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
(författare)
Plasma assisted low temperature wafer bonding: void formation in the oxide free interface
- Artikel/kapitelEngelska2003
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:a945f93d-4476-46d3-bafe-845e6434bb7e
-
https://research.chalmers.se/publication/16201URI
Kompletterande språkuppgifter
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Sanz-Velasco, Anke,1971Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)ankesanz
(författare)
-
Bengtsson, Stefan,1961Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)stefanb
(författare)
-
Chalmers tekniska högskola
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Proceedings of the 7th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications, Paris, France (2003)
Internetlänk