SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Guido E)
 

Sökning: WFRF:(Guido E) > (2005-2009) > How reliable are su...

How reliable are surface roughness measurements of micro-features? : Experiences of a Round Robin test within nine 4M laboratories

Mattsson, Lars, 1950- (författare)
KTH,Mätteknik och optik
Bolt, Pieter (författare)
TNO Science and Industry, 5600 HE Eindhoven, The Netherlands
Azcarate, Sabino (författare)
Tekniker Technological Center, 20600 Eibar, Spain
visa fler...
Brousseau, Emmanuel (författare)
Manufacturing Engineering Centre, Cardiff University, Cardiff CF24 3AA, UK
Fillon, Bertrand (författare)
French Atomic Energy Commission, (CEA), Laboratory of Innovation for New Energy Technologies and Nanomaterials (LITEN), 38054 Grenoble, France
Fowler, C. (författare)
Science and Technology Facilities Council, Rutherford Appleton Laboratory (RAL), Technology – Central Microstructure Facility, Harewell Science and lnnovation Campus, Didcot, Oxfordshire, OX11 OQX, UK
Gelink, E. (författare)
TNO Science and Industry, 5600 HE Eindhoven, The Netherlands
Griffiths, C. (författare)
Manufacturing Engineering Centre, Cardiff University, Cardiff CF24 3AA, UK
Kahn Malek, Chantal (författare)
FEMTO-ST Institute, CNRS UMR 6174, LPMO Department, 25044 Besancon Cedex, France
Marson, S. (författare)
School of Applied Sciences, Cranfield University, Cranfield, Beds, MK43 OAL, UK
Retolaza, Aritz (författare)
Tekniker Technological Center, 20600 Eibar, Spain
Schneider, A. (författare)
Science and Technology Facilities Council, Rutherford Appleton Laboratory (RAL), Technology – Central Microstructure Facility, Harewell Science and lnnovation Campus, Didcot, Oxfordshire, OX11 OQX, UK
Schoth, Andreas (författare)
IMTEK, University of Freiburg, Georges-Koehler-Allee 103, EG-79110, Freiburg, Germany
Témun, Attila (författare)
KTH,Mätteknik och optik
Tiquet, P. (författare)
French Atomic Energy Commission, (CEA), Laboratory of Innovation for New Energy Technologies and Nanomaterials (LITEN), 38054 Grenoble, France
Tosello, Guido (författare)
Department of Mechanical Engineering, Technical University of Denmark, Denmark
visa färre...
 (creator_code:org_t)
Dunbeath : Whittles Publishing, 2008
2008
Engelska.
Ingår i: 4M 2008. - Dunbeath : Whittles Publishing. - 9781904445760 ; , s. 139-142
Relaterad länk:
http://www.4m-net.or...
visa fler...
https://urn.kb.se/re...
visa färre...
  • Konferensbidrag (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • Surface roughness of tiny micro machined features is not easy to verify. The statistical variation of the surface itself can be the limiting factor that hampers tolerance verification. In this paper we have studied this effect and we also test the performance of 10 different surface profilers over a very well specified surface area. For this area 6 profilers yielded the same result within a standard deviation window of ±6%. For other areas, on top of narrow bars and in narrow and deep channels, a much larger spread in the Round Robin results were found.

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Nanoteknik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Nano-technology (hsv//eng)
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Maskinteknik -- Produktionsteknik, arbetsvetenskap och ergonomi (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Mechanical Engineering -- Production Engineering, Human Work Science and Ergonomics (hsv//eng)

Nyckelord

Surface roughness
Micro metrology
Round robin
Surface profile
Ra
Pa
SRA - Production
SRA - Produktion

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
kon (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

  • 4M 2008 (Sök värdpublikationen i LIBRIS)

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy