Sökning: WFRF:(Peyre J.) >
Incorporation of gr...
Incorporation of group III, IV and V elements in 3C–SiC(1 1 1) layers grown by the vapour–liquid–solid mechanism
-
- Lorenzzi, J. (författare)
- Université Claude Bernard Lyon 1, CNRS, UMR 5615, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces 43 Bd du 11 Novembre 1918, Villeurbanne CEDEX 69622, France
-
- Zoulis, G. (författare)
- Groupe d’Etude des Semiconducteurs, UMR 5650, CNRS and Université Montpellier 2, cc 074-GES, Montpellier CEDEX 5, 34095, France
-
- Marinova, M. (författare)
- Department of Physics, Aristotle University of Thessaloniki, Thessaloniki GR-54 124, Greece
-
visa fler...
-
- Kim-Hak, O. (författare)
- Université Claude Bernard Lyon 1, CNRS, UMR 5615, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces 43 Bd du 11 Novembre 1918, Villeurbanne CEDEX 69622, France
-
- Sun, J. W. (författare)
- Groupe d’Etude des Semiconducteurs, UMR 5650, CNRS and Université Montpellier 2, cc 074-GES, Montpellier CEDEX 5, 34095, France
-
- Jegenyes, N. (författare)
- Université Claude Bernard Lyon 1, CNRS, UMR 5615, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces 43 Bd du 11 Novembre 1918, Villeurbanne CEDEX 69622, France
-
- Peyre, H. (författare)
- Université Claude Bernard Lyon 1, CNRS, UMR 5615, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces 43 Bd du 11 Novembre 1918, Villeurbanne CEDEX 69622, France
-
- Cauwet, F. (författare)
- Université Claude Bernard Lyon 1, CNRS, UMR 5615, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces 43 Bd du 11 Novembre 1918, Villeurbanne CEDEX 69622, France
-
- Chaudouët, P. (författare)
- Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique, CNRS UMR 5628, Minatec Grenoble-INP, 3 parvis Louis Néel, BP 257, Grenoble CEDEX 01, 38016, France
-
- Soueidan, M. (författare)
- Université Claude Bernard Lyon 1, CNRS, UMR 5615, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces 43 Bd du 11 Novembre 1918, Villeurbanne CEDEX 69622, France
-
- Carole, D. (författare)
- Université Claude Bernard Lyon 1, CNRS, UMR 5615, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces 43 Bd du 11 Novembre 1918, Villeurbanne CEDEX 69622, France
-
- Camassel, J. (författare)
- Groupe d’Etude des Semiconducteurs, UMR 5650, CNRS and Université Montpellier 2, cc 074-GES, Montpellier CEDEX 5, 34095, France
-
- Polychroniadis, E. K. (författare)
- Department of Physics, Aristotle University of Thessaloniki, Thessaloniki GR-54 124, Greece
-
- Ferro, G. (författare)
- Université Claude Bernard Lyon 1, CNRS, UMR 5615, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces 43 Bd du 11 Novembre 1918, Villeurbanne CEDEX 69622, France
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2010
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Crystal Growth. - : Elsevier BV. - 0022-0248 .- 1873-5002. ; 312:23, s. 3443-3450
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We report on a comparative investigation of the incorporation of group III, IV and V impurities in 3C–SiC heteroepitaxial layers grown by the vapour–liquid–solid (VLS) mechanism on on-axis α-SiC substrates. To this end, various Si-based melts have been used with addition of Al, Ga, Ge and Sn species. Homoepitaxial α-SiC layers grown using Al-based melts were used for comparison purposed for Al incorporation. Nitrogen incorporation depth profile systematically displays an overshoot at the substrate/epilayer interface for all the layers. Ga and Al incorporations follow the same distribution shape as N whereas this is not the case for the isoelectronic impurities Ge and Sn. This suggests some interaction between Ga/Al and N coming from the high bonding energy between the group III and V elements, which does not exist with Ge and Sn. This is why both incorporate as a cluster. A model of incorporation is proposed taking into account metal-N and metal-C bonding energies together with the solid solubility of the corresponding nitrides.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)
Nyckelord
- A1. Impurities
- A1. Doping
- A1. SIMS
- A2. Growth from melt
- A3. Liquid phase epitaxy
- B2. Silicon carbide
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Lorenzzi, J.
-
Zoulis, G.
-
Marinova, M.
-
Kim-Hak, O.
-
Sun, J. W.
-
Jegenyes, N.
-
visa fler...
-
Peyre, H.
-
Cauwet, F.
-
Chaudouët, P.
-
Soueidan, M.
-
Carole, D.
-
Camassel, J.
-
Polychroniadis, ...
-
Ferro, G.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Oorganisk kemi
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Cryst ...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet