L773:1084 6999 OR L773:9781424496327
Sökning: L773:1084 6999 OR L773:9781424496327 > Very large scale he...
- 12 av 12
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Zimmer, FabianFraunhofer IPMS (författare)
Very large scale heterogeneous system integration for 1-megapixel mono-crystalline silicon micro-mirror array on CMOS driving electronics
- Artikel/kapitelEngelska2011
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 2011
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-124540
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-124540URI
- https://doi.org/10.1109/MEMSYS.2011.5734530DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20130916
- In this paper we demonstrate the first high mirror-count 1-level spatial light modulator (SLM) chip with 1 million tilting micro-mirrors made of mono-crystalline silicon on analogue, high-voltage CMOS driving electronics. The device from a feasibility study shows good optical and excellent mechanical properties. The micro-mirrors exhibit excellent surface properties with a surface roughness below 1 nm RMS, actuated micro-mirrors show no imprinting behavior and operate drift-free. Very large scale heterogeneous system integration was used to fabricate the micro-mirror array; the process is presented in this paper together with a characterization of the fabricated device.
Ämnesord och genrebeteckningar
- Crystalline silicons
- Drift-free
- Fabricated device
- Feasibility studies
- Heterogeneous systems
- High-voltages
- Mega-pixel
- Micro mirror
- Micromirror array
- Spatial light modulators
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Lapisa, MartinKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u10vt4i3 (författare)
- Bakke, ThorSINTEF, Norway (författare)
- Bring, MartinFraunhofer IPMS (författare)
- Stemme, GöranKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1oyebfq (författare)
- Niklaus, FrankKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1bcu8r2 (författare)
- Fraunhofer IPMSMikro- och nanosystemteknik (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), s. 736-7399781424496327
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- 2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEM... (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 12 av 12
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Zimmer, Fabian
- Lapisa, Martin
- Bakke, Thor
- Bring, Martin
- Stemme, Göran
- Niklaus, Frank
- Artiklar i publikationen
- 2011 IEEE 24th I ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
