WFRF:(Frank Göran)
Sökning: WFRF:(Frank Göran) > (2010-2014) > 3D Patterning of Si...
- 22 av 86
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Fischer, Andreas C.,1982-KTH,Mikrosystemteknik (författare)
3D Patterning of Si Micro and Nano Structures by Focused Ion Beam Implantation, Si Deposition and Selective Si Etching
- Artikel/kapitelEngelska2012
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 2012
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-91425
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-91425URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20121210
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Gylfason, Kristinn B.KTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1v3y7u7 (författare)
- Belova, Liubov M.KTH,Tillämpad materialfysik(Swepub:kth)u15bf6fe (författare)
- Malm, Gunnar B.KTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u13lag9j (författare)
- Kolahdouz, MohammadrezaKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1cet9aw (författare)
- Rikers, Yuri G.M.FEI Electron Optics (författare)
- Stemme, GöranKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1oyebfq (författare)
- Niklaus, FrankKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1bcu8r2 (författare)
- KTHMikrosystemteknik (creator_code:org_t)
Internetlänk
Till lärosätets databas
- 22 av 86
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
