The Influence of the Deposition Parameters on the Stress of Magnetron Sputter Deposited AlN Thin Films on Si (100) Substrates

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)

NATURVETENSKAP  -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)

NATURAL SCIENCES  -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)

Nyckelord

Electronics

Elektronik

Inorganic chemistry

Oorganisk kemi

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)

art (ämneskategori)