WFRF:(Frank Göran)
Sökning: WFRF:(Frank Göran) > Hermetic integratio...
- 30 av 305
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hermetic integration of liquids in MEMS by room temperature, high-speed plugging of liquid-filled cavities at wafer level
-
- Antelius, Mikael (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
- Fischer, Andreas (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
- Niklaus, Frank (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- IEEE, 2011
- 2011
- Engelska.
- Ingår i: Proceedings IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). - : IEEE. ; , s. 356-359
- Konferensbidrag (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- This paper reports a novel room temperature hermetic liquid sealing process based on wire bonded "plugs" over the access ports of liquid-filled cavities. The method enables liquids to be integrated already at the fabrication stage. Test vehicles were manufactured and used to investigate the mechanical and hermetic properties of the seals. A helium leak rate of better than 1E-10 mbarL/s was measured on the successfully sealed structures. The bond strength of the "plugs" were similar to standard wire bonds on flat surfaces.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Bonding
- Cavity resonators
- Gold
- Micromechanical devices
- Seals
- Silicon
- Wire
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Till lärosätets databas
- 30 av 305
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Antelius, Mikael
- Fischer, Andreas
- Niklaus, Frank
- Stemme, Göran
- Roxhed, Niclas
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- Proceedings IEEE ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
