AMNE:(Alloys)
Sökning: AMNE:(Alloys) > (1990-1994) > Good selectivity be...
Good selectivity between a NiCr mask and GaAs and AlGaAs by chemically assisted ion beam etching with Cl2 gas
-
- Xiao, Zhaohua, 1962 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Nilsson, Bengt, 1954 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
- (creator_code:org_t)
- 2010-08-22
- 1991
- Engelska.
- Ingår i: Journal of the Electrochemical Society. - : Wiley. - 1945-7111 .- 0013-4651. ; 138, s. 3086-9
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The authors report highly selective etching rates between a Ni-Cr mask and GaAs and AlGaAs layers as well as highly anisotropic profiles in these materials at a nanometer scale using the Ni-Cr mask and chemical assisted ion beam etching. The etching rates of Ni-Cr, GaAs, and AlGaAs depend on Cl2 gas flux. ion beam energy, and ion beam current density. Selectivities of the order of 40:1 and 8:1 between GaAs, respectively. Al0.29Ga0.71As and Ni0.7Cr0.3, were obtained at an ion beam energy of 500 eV, beam current density of 0.2 mA/cm2, and a Cl2 flow of 4.2 ml/min
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- chromium alloys
- chlorine
- nickel alloys
- gallium arsenide
- integrated circuit technology
- aluminium compounds
- III-V semiconductors
- masks
- sputter etching
- VLSI
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Journal of the Electrochemical Society (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Xiao, Zhaohua, 1 ...
- Nilsson, Bengt, ...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- Journal of the E ...
- ChemInform
- Av lärosätet
- Chalmers tekniska högskola
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
