SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Fager Hanna)
 

Sökning: WFRF:(Fager Hanna) > Growth and properti...

LIBRIS Formathandbok  (Information om MARC21)
FältnamnIndikatorerMetadata
00002992naa a2200349 4500
001oai:DiVA.org:liu-106574
003SwePub
008140512s2014 | |||||||||||000 ||eng|
024a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-1065742 URI
024a https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2014.10.0532 DOI
040 a (SwePub)liu
041 a engb eng
042 9 SwePub
072 7a ref2 swepub-contenttype
072 7a art2 swepub-publicationtype
100a Fager, Hannau Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)hanfa36
2451 0a Growth and properties of amorphous Ti-B-Si-N thin films deposited by hybrid HIPIMS/DC-magnetron co-sputtering from TiB2 and Si targets
264 1b Elsevier,c 2014
338 a electronic2 rdacarrier
520 a Amorphous nitrides are explored for their homogenous structure and potential use as wear-resistant coatings, beyond their much studied nano-and microcrystalline counterparts. (TiB2)1−xSixNy thin films were deposited on Si(001) substrates by a hybrid technique of high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) combined with dc magnetron sputtering (DCMS) using TiB2 and Si targets in a N2/Ar atmosphere. By varying the sputtering dc power to the Si target from 200 to 2000 W while keeping the average power to the TiB2-target, operated in HIPIMS mode, constant at 4000 W, the Si content in the films increased gradually from x=0.01 to x=0.43. The influence of the Si content on the microstructure, phase constituents, and mechanical properties were systematically investigated. The results show that the microstructure of as-deposited (TiB2)1−xSixNy films changes from nanocrystalline with 2-4 nm TiN grains for x=0.01 to fully electron diffraction amorphous for x=0.22. With increasing Si content, the hardness of the films increases from 8.5 GPa with x=0.01 to 17.2 GPa with x=0.43.
650 7a NATURVETENSKAPx Fysik0 (SwePub)1032 hsv//swe
650 7a NATURAL SCIENCESx Physical Sciences0 (SwePub)1032 hsv//eng
700a Greczynski, Grzegorzu Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)grzgr49
700a Jensen, Jensu Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)jenje80
700a Lu, Junu Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)junlu07
700a Hultman, Larsu Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)larhu75
710a Linköpings universitetb Tunnfilmsfysik4 org
773t Surface & Coatings Technologyd : Elsevierg 259, s. 442-447q 259<442-447x 0257-8972x 1879-3347
856u https://liu.diva-portal.org/smash/get/diva2:716728/FULLTEXT01.pdfx primaryx Raw objecty fulltext:postprint
856u http://liu.diva-portal.org/smash/get/diva2:716728/FULLTEXT01
8564 8u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-106574
8564 8u https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2014.10.053

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Fager, Hanna
Greczynski, Grze ...
Jensen, Jens
Lu, Jun
Hultman, Lars
Om ämnet
NATURVETENSKAP
NATURVETENSKAP
och Fysik
Artiklar i publikationen
Surface & Coatin ...
Av lärosätet
Linköpings universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy