Formation of silicon structures by plasma activated wafer bonding

LIBRIS Formathandbok (Information om MARC21)

Fältnamn	Indikatorer	Metadata
000		01681naa a2200277 4500
001		oai:research.chalmers.se:26696493-1f49-4d5b-99ae-cacabb7275f5
003		SwePub
008		171007s2001 \| \|\|\|\|\|\|\|\|\|\|\|000 \|\|eng\|
024	7	a https://research.chalmers.se/publication/178012 URI
040		a (SwePub)cth
041		a eng
042		9 SwePub
072	7	a kon2 swepub-publicationtype
072	7	a ref2 swepub-contenttype
100	1	a Amirfeiz, Petra,d 1973u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut
245	1 0	a Formation of silicon structures by plasma activated wafer bonding
264	1	c 2001
650	7	a TEKNIK OCH TEKNOLOGIERx Elektroteknik och elektronikx Annan elektroteknik och elektronik0 (SwePub)202992 hsv//swe
650	7	a ENGINEERING AND TECHNOLOGYx Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineeringx Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering0 (SwePub)202992 hsv//eng
700	1	a Bengtsson, Stefan,d 1961u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)stefanb
700	1	a Bergh, Mats,d 1968u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut
700	1	a Zanghellini, Ezio,d 1962u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)zanghell
700	1	a Börjesson, Lars,d 1957u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)lborje
710	2	a Chalmers tekniska högskola4 org
773	0	t Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology, And Applications V, Proceedingsg 99, s. 29-39q 99<29-39
856	4 8	u https://research.chalmers.se/publication/17801

Av författaren/redakt...: Amirfeiz, Petra, ...; Bengtsson, Stefa ...; Bergh, Mats, 196 ...; Zanghellini, Ezi ...; Börjesson, Lars, ...

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Elektroteknik oc ...; och Annan elektrotek ...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.