WFRF:(Sanders SB)
Sökning: WFRF:(Sanders SB) > Basic Concepts of M...
Basic Concepts of Moving-Sidewall Tuneable Capacitors for RF MEMS Reconfigurable Filters
-
- Shah, Umer (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik,RF MEMS
-
- Sterner, Mikael (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik,RF MEMS
-
- Oberhammer, Joachim (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik,RF MEMS
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- The European Microwave Association, 2011
- 2011
- Engelska.
- Ingår i: 6th European Microwave Integrated Circuits (EuMIC) Conference. - : The European Microwave Association. ; , s. 526-529, s. 1087-1090
- Konferensbidrag (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- This paper presents for the first time MEMS tuneablefilters, where the reconfiguration of the filter is achieved bymoving the sidewalls of a 3D micromachined transmission line.The sidewalls of the transmission line are moved by MEMSelectrostatic actuators completely integrated into the groundlayers of a thick-film coplanar waveguide. Multi-step actuatorshave been utilized for achieving a tuning range of up to 2.41 forthe tuneable capacitance elements. Two different 3Dtransmission line metallization schemes and two differentconcepts for tuning the capacitive load have been investigatedfor constructing filters based on this novel tuning mechanism.Measurements of fabricated devices have revealed that 3Dtransmission lines with top metallization only, and capacitorsavoiding the routing of the RF signal over mechanical-springmeanders achieve the best results. A successfully implementedfilter based on this configuration is shown, with a passbandinsertion and return loss of 5 and 12 dB, respectively, at a centerfrequency of 20 GHz. Various MEMS actuators designs withspring constants from 3.5 to 95 N/m have been implemented,resulting in actuation voltages of 15.4 to 73 V. The self-actuationpower simulated in a non-linear Agilent Advanced DesignSystem model has been estimated to 40 and 50 dBm for the softand the stiff spring actuators, respectively. The fabrication isdone by a single-mask silicon-on-insulator RF MEMS process.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- RF MEMS
- tuneable filters
- micromachined transmission lines
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- 6th European Microwave Integrated Circuits (EuMIC) Conference (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Shah, Umer
- Sterner, Mikael
- Oberhammer, Joac ...
- Sterner, Martin
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
- 6th European Mic ...
- 2011 41ST EUROPE ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
